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Summary
Contents
목차
그림목차
표목차
제1장 서론
제2장 국내ㆍ외 기술개발 현황
제3장 연구개발수행 내용 및 결과
제1절 이온주입법을 이용한 나노입자 합성기술 연구
제2절 이온빔을 이용한 고분자 나노소재 개질 및 소자 응용
제3절 이온 주입을 이용한 UV감지 박막소자 개발
제4절 SOI 제조를 위한 Smart-Cut 기술 연구 개발
제5절 이온주입에 의한 반도체 광소자 개발
제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도
제5장 연구개발결과의 활용계획
제6장 참고문헌
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