- 요약문
- Summary
- Contents
- 목차
- 그림목차
- 표목차
- 제1장 서론
- 제2장 국내ㆍ외 기술개발 현황
- 제3장 연구개발수행 내용 및 결과
- 제1절 이온주입법을 이용한 나노입자 합성기술 연구
- 제2절 이온빔을 이용한 고분자 나노소재 개질 및 소자 응용
- 제3절 이온 주입을 이용한 UV감지 박막소자 개발
- 제4절 SOI 제조를 위한 Smart-Cut 기술 연구 개발
- 제5절 이온주입에 의한 반도체 광소자 개발
- 제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도
- 제5장 연구개발결과의 활용계획
- 제6장 참고문헌
