북마크 목록

• 제1장 연구개발과제의 개요
• 제1절 연구의 필요성
• 제2절 연구의 목적
• 제2장 국내외 기술개발 현황
• 제1절 국내외 연구개발 현황
• 제2절 국내의 연구개발 현황
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과
• 제1절 고감도 감지구조 설계 및 해석 기술 개발
• 제2절 저압감지 감도향상을 위한 보상식각 기술 개발
• 제3절 Wafer Level 정밀 식각 기술 개발
• 제4절 웨이퍼 접합공정 기술개발
• 제5절 MEMS Dicing 기술개발
• 제6절 센서 신호처리회로 및 Digital Calibration 기술개발
• 제7절 센서용 SAR-ADC 기술개발
• 제8절 Multi Sensor ASIC 개발
• 제9절 마이크로 압력센서 패키지 기술개발
• 제10절 압력센서 평가시스템
• 제11절 마이크로 압력센서 시제품 제작 및 특성 평가
• 제12절 스마트 마이크로 압력센서 응용연구
• 1. 용량형 마이트로 차동 압력센서 응용연구
• 2. 반도체식 맥진센서 기술개발
• 3. 봉입형 압력센서 개발
• 4. 압력감지소자를 이용한 진동감지 장치 개발
• 5. SiC 압력센서의 제작에 관한 연구
• 6. 4H-실리콘 카바이드 오믹 접촉에 관한 연구
• 7. 정전 용량형 절대압력 센서 개발
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도
• 제1절 계획대비 목표달성도
• 제2절 관련분야에의 기여도
• 제5장 연구개발결과의 활용계획
• 제1절 추가연구의 필요성
• 제2절 타 연구에의 응용
• 제3절 기업화 추진방안
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보
• 제7장 참고문헌