총독부는 이런 계획에 따라 1914년 3월 1일 부제 실시를 전후하여 대대적인 부·군·면폐합을 단행하였는 바, 이 조처로 말미암아 11개의 부가 새로 만들어지고, 317개였던 군이 220개로 줄어들고 4,322개였던 면이 2,521개로 통폐합되었다. 군면을 폐합하면서 총독부는 그 명분으로서, 종래의 행정구역은 그 지역, 호구, 자력에 심한 편차가 있다는 것, 따라서 시정상의 편의와 경비 절약을 위해서는 군면을 시급히 통폐합해야 한다는 것 등을 앞세웠다. 하지만 1914년 부제 실시와 군면 폐합을 동시에 단행한 것은 일본인 거주 지역(거류민단)의 자치를 부분적으로 허용함과 동시에 구래의 지방통치 시스템과 프로세스를 전면적으로 재편하여 지방통치의 효율을 높이기 위해서였다. 총독부는 면적 40방리, 인구 남부지역 10만, 북부지역 5만, 1군 당 10개 면 정도를 기준으로 군 폐합을 그리고 면 폐합은 면적4방리, 호수는 800호 정도를 기준으로 삼았다.