반월산업단지의 개발은 서울시 공업 분산책의 일환으로 추진된 것이다. 1976년 7월 21일 박정희 대통령은 국무회의 석상에서 건설부장관에게 "수도권에서 100만평 규모의 공업단지를 갖춘 신산업도시 두 군데를 골라서 보고할 것"을 지시하였다. 이에 따라 건설부에서는 반월, 발안, 조암, 안중 지역 네 곳을 후보지로 선정하고, 후보지별 장단점을 비교한 신산업도시 입지조사보고서를 작성하여 8월 18일 대통령에게 보고하였다.
이 보고에 대해 박정희 대통령은 "국토계획적 관점에서 아산만개발과 연계될 수 있는 안중이 적합한 줄은 알지만 지금 당장 서울에 있는 공장이 70㎞밖으로 나가라면 과연 나갈 수 있겠는가…(중략)…반월을 개발후보지로 결정하고 어느 정도 개발의 기미가 보일 때 안중개발에 착수하는 것도 하나의 방법이다"라고 지적하였다. 이러한 과정을 거쳐 반월공업도시 개발이 결정되었다.
이후 1977년 4월 22일 반월특수지역이 산업기지로 지정되었다(건설부고시 제73호). 비록 산업기지개발법에 의한 산업기지로 개발되었다고 하나 반월특수지역은 그 개발목적상 기존의 임해형 산업기지와 뚜렷한 차이를 지녔다. 반월특수지역은 “수도권의 과밀한 인구 및 산업집중현상을 억제 및 완화할 유도지역에 공업단지, 주거지 및 상업지의 조성과 이에 관련되는 도시기간시설 등을 계획적이며 효율적으로 건설”하는데 목적을 두었다. 산업기지로 지정된 총 면적은 경기 화성군 반월면, 시흥군 수암면 및 군자면 일부지역 57.85㎢(1750만평)이었다.
반월산업단지는 입지상의 장점으로 인해 큰 성공을 거두었다. 이에 힘입어 산업기지개발공사는 안산시가 자족적 도시로 성장하기 위해서는 반월산업단지 외에 새로운 산업단지 조성이 필요하다고 정부를 설득하였다. 정부도 서울 등에서 부적격공장을 이주시키기 위해서는 새로운 산업단지 조성이 필요하다는 판단에, 반월산업단지 서편의 공유수면과 염전을 매립하여 총 면적 약 16㎢의 산업단지를 조성하였는데 이것이 시화국가산업단지이다. 시화국가산업단지는 반월국가산업단지의 확장 단지 성격을 지닌다. 실제로 시화산업단지의 지정도 1986년 9월 반월특수지역 개발구역을 변경하여 시화지구 개발 구역을 편입함으로써 이루어졌다(건설부 고시 제424호).
2008년 현재 반월특수지역은 반월지구와 시화지구로 구성되어 있으며, 시화지구는 시화지구 1단계와 MTV, 송산그린시티 및 시화호 등으로 구성되어 있다. 반월지구는 안산신도시 1단계 지구와 안산신도시 2단계 지구로 세분된다. 이들 두 지구를 합한 반월특수지역의 총 지정면적은 231㎢이며, 그중 공장설립이 가능한 산업시설용지는 약 21.6㎢, 주거지역이 21.2㎢, 지원시설구역이 약 26.8㎢이다. 전체 지정면적 중 161.8㎢는 공공시설 및 해면(시화호 등)으로 구성되어 있다. 반월특수지역에는 총 10,425개 업체가 가동 중이며, 종사자 수는 184,407명에 달한다. 연간 생산액은 2008년 기준 45조 3천억원, 수출액은 77억불이다.